لوحة نيتريد السيليكون وطريقة تصنيعها

اسم براءة الاختراع:الركيزة نيتريد السيليكونوطريقة تصنيعها وطريقة إنتاج لوحة دوائر نيتريد السيليكون ووحدة أشباه الموصلات باستخدام لوحة نيتريد السيليكون
المجال التقني:
يتضمن الاختراع الحاليالركيزة نيتريد السيليكونوطرق تصنيعه . بالإضافة إلى ذلك، يتضمن الاختراع استخدام ركائز دائرة نيتريد السيليكون ووحدات أشباه الموصلات باستخدام ما ورد أعلاهالركيزة نيتريد السيليكون.
تقنية الخلفية:
في السنوات الأخيرة، في المجالات والمجالات الأخرى للسيارات الكهربائية، ظهرت وحدة أشباه موصلات الطاقة (وحدة أشباه موصلات الطاقة) (IGBT، طاقة MOSFET، وما إلى ذلك) التي يمكنها العمل بجهد عالي وتيار كبير. بالنسبة للركيزة المستخدمة في وحدة أشباه موصلات الطاقة، يمكن استخدام سطح واحد من الركيزة الخزفية العازلة للدمج مع لوحة دائرة معدنية، ويمكن استخدام ركيزة الدائرة الخزفية مع لوحة مشعاع معدنية على سطح آخر. وبالإضافة إلى ذلك، عناصر أشباه الموصلات على لوحة الدوائر المعدنية، وما إلى ذلك. يتم توصيل مزيج الركائز الخزفية العازلة المذكورة أعلاه مع لوحات الدوائر المعدنية والمشتتات الحرارية المعدنية، مثل ما يسمى بالنحاس القائم على النحاس القائم على النحاس القائم على النحاس القائم على النحاس بشكل مباشر إلى القانونية. بالنسبة لوحدة أشباه موصلات الطاقة هذه، يكون تبديد الحرارة أكبر من خلال التدفق عبر تيارات كبيرة. ومع ذلك، نظرًا لأن الركيزة الخزفية العازلة المذكورة أعلاه منخفضة من حيث التوصيل الحراري، فقد تصبح عاملاً يعيق تبديد الحرارة لمكونات أشباه الموصلات. بالإضافة إلى ذلك، يحدث توليد الإجهاد الحراري بسبب معدل التمدد الحراري بين الركيزة الخزفية العازلة ولوحة الدائرة المعدنية ولوحة المشتت الحراري المعدنية. ونتيجة لذلك، فإن الركيزة الخزفية العازلة تتشقق وتدمر، أو يتم تجريد لوحة الدائرة المعدنية أو تبديد الحرارة المعدنية من الركيزة الخزفية العازلة.